Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.26.1.91-99Ключові слова:
Автоматизація процесів хімічного травлення, система автоматичного контролю, інтерференційні методи контролю товщини, алгоритм контролю процесу травленняАнотація
Показано можливість створення систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення на основі інтерферометричного оптичного методу. Розроблено структурну схему пристроїв автоматичного керування побудовою оптичного тракту із елементів сучасних інформаційних оптоволоконних систем. Створено експериментальну модель системи автоматичного керування із оптимальним спектральним «ув’язуванням» джерела випромінювання, оптичних волокон, Y-розгалужувача та фотоприймача. Результати експериментальних досліджень змін інтерференційної картини під час хімічного травлення тонких плівок показали, що створена модель забезпечує простоту оптичного юстування, високу завадостійкість та легкість автоматизації контролю всього процесу травлення. На основі отриманих при досліджені експериментальної моделі результатів розроблено базовий алгоритм функціонування систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення із використанням інтерферометричного оптичного методу.
Посилання
Qualitech 2016. Introduction to Chemical Etching. [Electronic resource] Access mode: https://www.qualitetch.com/introduction-chemical-etching/https://www.qualitetch.com/introduction-chemical-etching.
V. P. Ivanytskyi, V. M. Rubish, A. AND. Tarnay, I. AND. Chychura, V. IN. Rubish, A. IN. Dalekore, R. AT. Meshko, M. M. Ryaboshchuk, V. IN. Tsigika. Automation of measurements of the rate of chemical etching of thin films. Data Registration, Storage and Processing, 26, 2, 81 (2024).
V.V. Petrov, A.A. Kryuchin, Y.A. Kunytsky, V.M. Rubish, A.S. Lapchuk, S.O. Kostyukevich. Nanolithography Methods (Naukova Dumka, Kyiv) (2015) 262p.
QATM products. Electrolytic polisher and etcher for reliable and convenient metallographic preparation. [Electronic resource] Access mode: https://www.qatm.com/products/grinding-polishing-etching/electrolytic-polisher-etcher/?gad_source=1&gclid .
Yu.V. Sukhoroslova, D. Veselov, Yu.A. Voronov. Automated unit of the chemical wet etching. IOP Conference Series Materials Science and Engineering, 475(1), 012005 (2019); https://doi.org/10.1088/1757-899X/475/1/012005. www.researchgate.net/publication/331188689.
O. Ambroz, J. Cermak, S. Mikmekova. Apparatus for automatic chemical etching of metallographic samples, Conference: METAL, 6 (2021); https://doi.org/10.37904/metal.2021.4146. https://www.researchgate.net/publication/356490772.
A.A. Tarnay, V.K. Kyrylenko, V.M. Rubish, E.V. Gera. Installation for studying the processes of liquid etching of inorganic resists – media for holography and optical recording of information, Data Registration, Storage and Processing, 10, 2, 32 (2008).
T - Series TO - Can 9 mm M 9- SM -808 nm -50 mW [Electronic resource ] Access mode: https://www.sheaumann.com/download/t-series-to-can-9mm-m-9-sm-808-nm-50-mw/.
OPT 101 Datasheet (PDF) – Texas Instruments [Electronic resource] Access mode: https://www.alldatasheet.com/datasheet-pdf/pdf/545673/TI/OPT101.html.
Optical cable [ Electronic resource ] Access mode: https://finmark.ua/catalog/optical-cable.html.
David Bailey, Edwin Wright. Fiber optics: theory and practice. Trans. with English: (Kudyts-Press, M) (2008).
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2025 A.V. Dalekorej, V.P. Ivanytsky, A.A. Kryuchyn, Ya.P. Legeta, V.V. Petrov, V.M. Rubish, M.M. Ryaboshchuk, I.I. Chychura
Ця робота ліцензованаІз Зазначенням Авторства 3.0 Міжнародна.
