Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію - Могиляк, І. А.; Бончик, О. Ю.; Корній, С. А.; Кияк, С. Г.; Попович, Д. І. (Фізика і хімія твердого тіла, 2020)
В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей утворення лазер-індукованих періодичних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних, мілісекундних і наносекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень оптичним і електронним мікроскопом періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (100). Одержані результати можуть бути використані для оптимізації режиму імпульсного лазерного впливу з метою контрольованого наноструктурування поверхні напівпровідників для цілей мікроелектроніки та фотовольтаїки.